首先，非接觸式測試儀測量結果受距離、被測試樣品的幾何尺寸的影響較大，探頭和被測樣品之間距離的變動將引起很大的測試誤差，需要按照儀器說明書規定的測距將探頭放置在與被測帶電物體表面垂直的某一固定的空間位置上。在被測物體帶電電荷量較大時，為避免在測試過程中帶電體與探頭外殼之間的靜電放電，測試時探頭應當先從較遠位置逐漸接近被測物體；

       遠離接地體，被測體是薄片，且背面有接近接地體，有產生ESD放電的危險。

 
       被測樣品不是平板，有較大彎曲度時，測試結果就會與它實際所帶電壓值有較大差別。

 
       盡量減少外界電場對測試信號的影響，常用方法是在探頭外加屏蔽套并接地。

 
       最后，還要考慮儀器本身對測量精度的影響，根據《靜電電壓表校準規范》對儀器定期進行校準和標定。通常測試精度應能測試到正負10Ω的靜電電壓。

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